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Cas No. 13801-49-5 四(乙氨基)锆 13801-49-5

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Chemical Name: 四(乙氨基)锆
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13801-49-5
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Molecular Type: C4H11NZr
Product Category :

锆类氨基金属化合物主要用作CVD、ALD、等离子体增强原子层沉积(PEALD)工艺,常用于生长ZrO2的前驱体。ZrO2在45nm晶体管制备中代替二氧化硅,可以显著减少漏电量,是COMS和DRAM的high-k绝缘材料,是目前解决动态储存(DRAM)和高清显示技术难题的最优选材料之一。

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