Our Products
Contact Us

Cas No. 175923-04-3 四(乙基甲基氨基)锆(IV)

singleproducttemplate
Chemical Name: 四(乙基甲基氨基)锆(IV)
singleproducttemplate
175923-04-3
singleproducttemplate
Molecular Type: C12H32N4Zr
Product Category :

锆类氨基金属化合物主要用作CVD、ALD、等离子体增强原子层沉积(PEALD)工艺,常用于生长ZrO2的前驱体。ZrO2在45nm晶体管制备中代替二氧化硅,可以显著减少漏电量,是COMS和DRAM的high-k绝缘材料,是目前解决动态储存(DRAM)和高清显示技术难题的最优选材料之一。

Related Products
Related Posts With 材料化学品
No data was found
Scroll to Top