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Cas No. 19782-68-4 四(二甲氨基)铪

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Chemical Name: 四(二甲氨基)铪
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19782-68-4
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Molecular Type: C8H24HfN4
Product Category :

铪类氨基金属化合物主要用作CVD和ALD的原材料,用于沉积铪的前驱物,制备铪氧化物薄膜。也可以用于COMS的下一代DRAM的高K绝缘材料,广泛应用于45nm下直至7nm技术带等先进CMOS集成电路技术中。也可用于新型阻变/忆阻器件(RRAM)研究中,并展现良好的微缩特性,可在10nm尺度下保持良好的阻变特性。

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