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Cas No. 19824-59-0 五(二甲基氨基)钽(V)

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Chemical Name: 五(二甲基氨基)钽(V)
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19824-59-0
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Molecular Type: C10H30N5Ta
Product Category :

五(二甲基氨基)钽可作为TaN的前驱体,具有优良的导电性能,可用于半导体器件的电极部分的制造;在半导体后工艺中作为扩散阻挡层使用;也可用于光伏电池正极的金属化;在45nm以下CMOS工艺中作为金属栅极材料前驱体使用。

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