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Cas No. 3275-24-9 四(二甲氨基)钛

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Chemical Name: 四(二甲氨基)钛
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3275-24-9
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Molecular Type: C2H7NTi
Product Category :

四(二甲氨基)钛是现下ALD和CVD领域的研究热点。可作为TiO2的前驱体材料。TiO2是32nm以下技术中十分重要的高k和金属栅极材料,可作为n型半导体的电子运输层材料,与其他化合物掺杂,可得到具有超高的介电常数的低的介电损耗的介质材料,用于电容器和随机动态储存器的小型器件制造。

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