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Cas No. 75-24-1 三甲基铝

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Chemical Name: 三甲基铝
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75-24-1
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Molecular Type: C3H9Al
Product Category :

三甲基铝在半导体制造过程中可用于沉积氧化铝层、氮化铝,作为DRAM电容器电介质、high-k栅极电介质使用;在OLED薄膜封装中可用于水汽阻隔薄膜涂层、气体扩散阻隔膜制作;还可以用于太阳能电池中硅表面钝化层。

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