Cas No. 19782-68-4 四(二甲氨基)铪
Chemical Name: 四(二甲氨基)铪
19782-68-4
Molecular Type: C8H24HfN4
Product Category : 材料化学品
铪类氨基金属化合物主要用作CVD和ALD的原材料，用于沉积铪的前驱物，制备铪氧化物薄膜。也可以用于COMS的下一代DRAM的高K绝缘材料，广泛应用于45nm下直至7nm技术带等先进CMOS集成电路技术中。也可用于新型阻变/忆阻器件(RRAM)研究中，并展现良好的微缩特性，可在10nm尺度下保持良好的阻变特性。
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中文名称： 四(二甲氨基)铪
CAS号： 19782-68-4
分子式： C8H24HfN4
分子量： 354.79
纯度 ： 99.00%+
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固体 10克/袋 ；1千克/袋 ；25千克/桶
液体 10克/瓶 ； 1千克/瓶 ；25千克/桶； 200千克/桶；
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