Cas No. 19824-55-6 四(二乙基氨基)铪

铪类氨基金属化合物主要用作CVD和ALD的原材料，用于沉积铪的前驱物，制备铪氧化物薄膜。也可以用于COMS的下一代DRAM的高K绝缘材料，广泛应用于45nm下直至7nm技术带等先进CMOS集成电路技术中。也可用于新型阻变/忆阻器件(RRAM)研究中，并展现良好的微缩特性，可在10nm尺度下保持良好的阻变特性。