Cas No. 175923-04-3 四(乙基甲基氨基)锆(IV)

Chemical Name: 四(乙基甲基氨基)锆(IV)

175923-04-3

Molecular Type: C12H32N4Zr
Product Category : 材料化学品
锆类氨基金属化合物主要用作CVD、ALD、等离子体增强原子层沉积(PEALD)工艺,常用于生长ZrO2的前驱体。ZrO2在45nm晶体管制备中代替二氧化硅,可以显著减少漏电量,是COMS和DRAM的high-k绝缘材料,是目前解决动态储存(DRAM)和高清显示技术难题的最优选材料之一。
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中文名称: 四(乙基甲基氨基)锆(IV)
CAS号: 175923-04-3
分子式: C12H32N4Zr
分子量: 323.63
纯度 : 99.00%+
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固体 10克/袋 ;1千克/袋 ;25千克/桶
液体 10克/瓶 ; 1千克/瓶 ;25千克/桶; 200千克/桶;
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