Cas No. 19824-59-0 五(二甲基氨基)钽(V)
Chemical Name: 五(二甲基氨基)钽(V)
19824-59-0
Molecular Type: C10H30N5Ta
Product Category : 材料化学品
五(二甲基氨基)钽可作为TaN的前驱体，具有优良的导电性能，可用于半导体器件的电极部分的制造；在半导体后工艺中作为扩散阻挡层使用；也可用于光伏电池正极的金属化；在45nm以下CMOS工艺中作为金属栅极材料前驱体使用。
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中文名称： 五(二甲基氨基)钽(V)
CAS号： 19824-59-0
分子式： C10H30N5Ta
分子量： 401.33
纯度 ： 99.00%+
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固体 10克/袋 ；1千克/袋 ；25千克/桶
液体 10克/瓶 ； 1千克/瓶 ；25千克/桶； 200千克/桶；
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